真空壓力測量傳感器是什么？

真空壓力測量傳感器是什么？

真空壓力測量傳感器是一種重要的儀器，廣泛應用于多個領域。

它的作用是測量真空環境中的壓力變化，并將其轉化為可讀取的信號。真空是指氣體壓力低于大氣壓的環境，其壓力范圍從大氣壓以下的幾個帕斯卡到極低的奈帕級。

常見的真空壓力傳感器類型有熱陰極離子化真空傳感器、熱陰極電離真空傳感器、電容真空傳感器和熱導真空傳感器等。

熱陰極離子化真空傳感器通過加熱陰極使氣體分子電離產生電子，測量電子在真空中的漂移速度來確定壓力，精度高、響應快，適用范圍廣。

熱陰極電離真空傳感器在真空環境中加熱陰極，使氣體分子電離形成離子云，通過測量離子云的電流來確定壓力，對氣體種類依賴性小。

電容真空傳感器利用電容變化測量真空壓力，真空環境中壓力變化會導致電極間電容改變，通過測量電容變化計算壓力，靈敏度高且穩定。

熱導真空傳感器依據熱傳導原理工作，將熱絲暴露在真空環境中，熱絲受氣體分子散熱影響產生溫度變化，通過測量熱絲溫度變化推導出真空壓力，穩定性和長期可靠性強，適用于高真空環境。

微細加工領域常用的微型熱膜真空傳感器，采用微型熱膜技術，通過測量膜片電阻變化確定壓力，具有尺寸小、響應快的特點。

在實際應用中，真空壓力傳感器的精度、穩定性和響應速度非常重要。不同應用領域對真空環境要求不同，要選擇適合的傳感器類型和規格。而且，它通常需與數據采集或控制系統配合，實現對真空環境的監測和控制。

總之，真空壓力測量傳感器不可或缺，選擇合適類型和規格，并與相關系統配合，能準確監測和控制真空環境，提升工作效率和質量。

（圖/文/攝：太平洋汽車 整理于互聯網）