應變式壓力傳感器:的外部壓力(或拉力)使應變材料的幾何形狀(長度或寬度)發生變化,從而導致材料電阻的變化。可以通過檢測電阻變化來測量外力。壓阻式壓力傳感器3360受到外力后,半導體壓阻式傳感器的晶格參數發生變化,影響帶隙寬度,進而引起載流子密度發生較大變化,最終引起材料電阻率發生變化。可以看出,雖然兩種材料都隨著外力的變化表現出電阻的變化,但原理不同。此外,應變材料對外力的靈敏度遠低于半導體壓阻材料,比前者高100倍左右。半導體壓阻材料的應變特性受溫度影響較小,而半導體壓阻材料對溫度比較敏感。
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